Mikrostrukturforschung, Elektronik und Nanotechnologie wachsen im Zuge der Miniaturisierung von Bauelementen zu einem gro??en interdisziplin???ren Forschungsgebiet zusammen. Die neue Reihe Advanced Micro and Nano Systems widmet sich Technologien, Bauelementen und Systemen aus der Mikro- und der Nanowelt mit Beitr???gen renommierter Spitzenforscher. In diesem Band finden Sie ausf???1/4hrliche Angaben zu Sensoren und mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) auf CMOS-Basis - von materialtechnischen Aspekten ???1/4ber ...
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Mikrostrukturforschung, Elektronik und Nanotechnologie wachsen im Zuge der Miniaturisierung von Bauelementen zu einem gro??en interdisziplin???ren Forschungsgebiet zusammen. Die neue Reihe Advanced Micro and Nano Systems widmet sich Technologien, Bauelementen und Systemen aus der Mikro- und der Nanowelt mit Beitr???gen renommierter Spitzenforscher. In diesem Band finden Sie ausf???1/4hrliche Angaben zu Sensoren und mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) auf CMOS-Basis - von materialtechnischen Aspekten ???1/4ber designspezifische Informationen bis zu Gesichtpunkten der Montage und Verpackung.
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