Handbook of Plasma Immersion Ion Implantation and Deposition

Thema dieses Buches sind verschiedene Plasmaverfahren zur gezielten Modifikation von Oberflachen und oberflachennahen Schichten fester Werkstoffe. Die Gemeinsamkeit der diskutierten Methoden besteht darin, da? das bearbeitete Werkstuck in ein Plasma eingebracht wird; den Ionen des Plasmas wird dabei die zur Implantation erforderliche kinetische Energie zugefuhrt. (09/00) Read More

Thema dieses Buches sind verschiedene Plasmaverfahren zur gezielten Modifikation von Oberflachen und oberflachennahen Schichten fester Werkstoffe. Die Gemeinsamkeit der diskutierten Methoden besteht darin, da? das bearbeitete Werkstuck in ein Plasma eingebracht wird; den Ionen des Plasmas wird dabei die zur Implantation erforderliche kinetische Energie zugefuhrt. (09/00) Read Less

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2000, Wiley-Vch, New York, NY ISBN-13: 9780471246985 Hardcover See All from $48.72