Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) befinden sich derzeit in der Entwicklung, inbesondere im Hinblick auf einen Einsatz in der Telekommunikation. Potentiell k???nnen solche Systeme mit wenig oder keiner Leistung betrieben werden. Die Grundlagen von Hochfrequenz-MEMS werden in diesem Buch erl???utert, wobei auch auf praktische Aspekte des Schaltkreisentwurfs eingegangen wird. Auch Switches, Phasenschieber, Varaktoren und Oszillatoren werden beschrieben. Herstellungs- und Verpackungstechniken werden gleicherma???en erl?? ...
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Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) befinden sich derzeit in der Entwicklung, inbesondere im Hinblick auf einen Einsatz in der Telekommunikation. Potentiell k???nnen solche Systeme mit wenig oder keiner Leistung betrieben werden. Die Grundlagen von Hochfrequenz-MEMS werden in diesem Buch erl???utert, wobei auch auf praktische Aspekte des Schaltkreisentwurfs eingegangen wird. Auch Switches, Phasenschieber, Varaktoren und Oszillatoren werden beschrieben. Herstellungs- und Verpackungstechniken werden gleicherma???en erl???utert.
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