Das vorliegende Lehrbuch bietet eine kompakte Zusammenfassung des Wissens, das f�r die Anwendung von Mikrosystemen notwendig und hilfreich ist. Es vermittelt den aktuellen Stand der Technik und illustriert anhand ausgew�hlter Beispiele den Einsatz verschiedenster Technologien und L�sungsans�tze. Im ersten Teil des Lehrbuchs liegt der Fokus auf den Materialien und Technologien, die zur Herstellung von Mikrosystemen angewendet werden. Neben einer kurzen Zusammenfassung der Halbleitertechnologien, werden die speziellen ...
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Das vorliegende Lehrbuch bietet eine kompakte Zusammenfassung des Wissens, das f�r die Anwendung von Mikrosystemen notwendig und hilfreich ist. Es vermittelt den aktuellen Stand der Technik und illustriert anhand ausgew�hlter Beispiele den Einsatz verschiedenster Technologien und L�sungsans�tze. Im ersten Teil des Lehrbuchs liegt der Fokus auf den Materialien und Technologien, die zur Herstellung von Mikrosystemen angewendet werden. Neben einer kurzen Zusammenfassung der Halbleitertechnologien, werden die speziellen zus�tzlichen Verfahren zur Herstellung von dreidimensionalen Strukturen beschrieben. Desweiteren werden spezielle Packagings f�r Mikrosysteme vorgestellt. Im zweiten Teil des Lehrbuchs liegt der Fokus auf MEMS-Sensoren (Micro-Electro-Mechanical Systems). Diese Sensoren spielen eine entscheidende Rolle in der modernen Sensorik und finden in einer Vielzahl von Anwendungen ihren Platz. Von der Industrie, wo sie die Automatisierung von Prozessen erm�glichen und pr�zise Daten zur Prozesssteuerung liefern, bis hin zur Medizintechnik, wo sie f�r die �berwachung von Vitalparametern wie Herzschlag und Blutzucker eingesetzt werden. Sogar im Alltagsleben sind Sensoren allgegenw�rtig - zum Beispiel in Smartphones, wo sie Funktionen wie Bildschirmrotation und Helligkeitsanpassung steuern. Die technologischen Fortschritte bei Sensoren sind beeindruckend: Moderne Sensoren werden immer kleiner, effizienter und pr�ziser. Diese Miniaturisierung er�ffnet neue Anwendungsm�glichkeiten in der Zukunft, wie zum Beispiel in der Wearable-Technologie, wo Sensoren in Kleidung oder direkt am K�rper getragen werden k�nnen. Im dritten Teil des Lehrbuchs werden g�ngige Signalverarbeitungsalgorithmen behandelt, die bei der Ansteuerung und Datenauswertung mithilfe von Mikrocontrollern zum Einsatz kommen. Diese Algorithmen sind von entscheidender Bedeutung f�r die effiziente Verarbeitung von Messdaten und erm�glichen eine pr�zise Steuerung und Auswertung in verschiedenen Anwendungen. Die Inhalte dieses Lehrbuchs basieren auf dem Vorlesungsstoff der Module Mikrosystemtechnik im Bachelorstudiengang Elektrotechnik und Sensorsysteme im Masterstudiengang Elektrotechnik an der Hochschule Bielefeld. Dar�ber hinaus ist das Buch an alle Ingenieure adressiert die MEMS-Bausteine im industriellen Umfeld einsetzen.
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